PECVD晶圆加热用保护装置
基本信息
| 申请号 | CN202022199614.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213507190U | 公开（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申请公布号 | CN213507190U | 申请公布日 | 2021-06-22 |
| 分类号 | C23C16/46（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 贾昆良 | 申请（专利权）人 | 江苏先锋精密科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 靖江市靖泰专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈秀兰 |
| 地址 | 214500江苏省泰州市靖江市城南园区德裕路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种PECVD晶圆加热用保护装置，设置于晶圆加热器表面；特点是包括保护装置主体，保护装置主体的上表面设置有阳极氧化膜；保护装置主体与晶圆加热器之间通过固定螺丝相连接固定，固定螺丝的顶部设置有绝缘盖，绝缘盖与固定螺丝外端相配合连接；优点是在工艺过程中晶圆加热器表面不会受到损伤，只需及时更换低成本的表面防护装置既可以继续生产，大大降低了维修成本，简化了原先需要拆卸晶圆加热器的复杂过程。 |
