多探针测试组件
基本信息
| 申请号 | CN201620060253.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205450046U | 公开（公告）日 | 2016-08-10 |
| 申请公布号 | CN205450046U | 申请公布日 | 2016-08-10 |
| 分类号 | G01R1/073(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谢晓东 | 申请（专利权）人 | 绍兴科盛电子有限公司 |
| 代理机构 | 绍兴市越兴专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 绍兴科盛电子有限公司;浙江明德微电子股份有限公司 |
| 地址 | 312000 浙江省绍兴市绍兴经济开发区舜江路683号科创大厦23楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于晶圆芯片的自动化测试组件，尤其是多探针测试组件，包括安装座和固定于安装座上的探针盘，阵列探针固定于探针盘上，阵列探针通过导线与测试仪器实现电连接。本实用新型将安装座固定在全自动探针台的机械臂上，测试台上放置被测试晶圆片，阵列探针与晶圆片上的芯片单元接触，在多个测试仪器同时发出的测试信号作用下，可一次性完成多个芯片单元的电性能测试，大大提高了测试效率，降低了测试成本。 |
