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一种圆筒形晶体退火炉

基本信息

申请号 CN201922128006.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211142240U 公开（公告）日 2020-07-31
申请公布号 CN211142240U 申请公布日 2020-07-31
分类号 C30B33/02(2006.01)I 分类 -
发明人 高佑君;樊海强;柴晓磊 申请（专利权）人 山西中科晶电信息材料有限公司
代理机构 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 山西中科晶电信息材料有限公司
地址 043604山西省运城市绛县开发区陈村（山西冲压厂西50米）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶体制备领域，更具体而言，涉及一种圆筒形晶体退火炉；提供一种采用多温度点监控、多加热器独立控制的圆筒形晶体退火炉，减小退火炉内温度梯度，实现对炉内温度的精准控制；包括炉身、炉盖、坩埚架、加热结构、保温结构、温控系统和用于支撑并驱动坩埚架伸出炉外的提升结构；加热结构包括若干独立控制的加热器，保温系统包括分别设置于加热炉丝内、外侧的内层保温结构和外层保温结构，温控系统包括数据处置设备和设置于退火炉内的若干温度传感器，数据处理设备根据温度传感器传回的数据控制分布在退火炉内的加热器进行加热，使得炉温各测温点温度趋于设定值。