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一种用于单晶生长的升降装置

基本信息

申请号 CN201922127978.5 申请日 -
公开（公告）号 CN211057278U 公开（公告）日 2020-07-21
申请公布号 CN211057278U 申请公布日 2020-07-21
分类号 C30B35/00(2006.01)I 分类 -
发明人 柴晓磊;梁李虎;李斌 申请（专利权）人 山西中科晶电信息材料有限公司
代理机构 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 山西中科晶电信息材料有限公司
地址 043604山西省运城市绛县开发区陈村（山西冲压厂西50米）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种用于单晶生长的升降装置，提供一种采用新型支撑结构和控制单元、能够准确平稳地完成规定行程，同时能够自动停止的用于单晶生长的升降装置；该装置包括底座、升降机构、晶体支撑机构和控制机构，底座包括底座主体和可调节地脚支撑；升降机构包括电机、换向结构、升降台和螺杆螺套，电机通过换向结构驱动螺杆转动，通过固定在升降台上的螺套使得升降台实现上、下运动；晶体支撑机构包括晶体支撑平台和可调节支撑柱，通过可调节支撑柱调节晶体支撑平台的水平；控制机构包括角度传感器、限位结构、计数表、转速表和编码器；本实用新型用于半导体单晶生长领域。