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一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉

基本信息

申请号 CN201921656033.6 申请日 -
公开（公告）号 CN210856408U 公开（公告）日 2020-06-26
申请公布号 CN210856408U 申请公布日 2020-06-26
分类号 C30B15/30(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I 分类 -
发明人 高佑君;柴晓磊;樊海强 申请（专利权）人 山西中科晶电信息材料有限公司
代理机构 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 山西中科晶电信息材料有限公司
地址 043604山西省运城市绛县开发区陈村（山西冲压厂西50米）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体材料制备装置技术领域，更具体而言，涉及一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉，包括晶体生长装置与炉体升降装置，在晶体生长装置中通过自上而下的多组加热器实现对炉芯及坩埚炉、石英管的热辐射加热，多组加热器独立运作，实现不同部位不同温度的加热；通过底部玻璃棒提供热流失通道；通过炉体升降装置，避免因坩埚内部熔体震动而导致的生长界面波动带来的晶体缺陷，使得晶体尾部多晶率由原来6%下降到2%，晶体的EPD及电性能均匀性得到明显提升；本实用新型提供的晶体生长炉结构简单，操作便捷，方便了装炉与出炉操作，工作效率由3炉/（人·h）提高到5炉/（人·h）。