一种大尺寸晶体生长单晶炉专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种大尺寸晶体生长单晶炉

基本信息

申请号	CN201921656061.8	申请日	-
公开（公告）号	CN210711819U	公开（公告）日	2020-06-09
申请公布号	CN210711819U	申请公布日	2020-06-09
分类号	C30B11/00(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	高佑君;柴晓磊;樊海强	申请（专利权）人	山西中科晶电信息材料有限公司
代理机构	北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	山西中科晶电信息材料有限公司
地址	043604山西省运城市绛县开发区陈村（山西冲压厂西50米）
法律状态	-

摘要

本实用新型涉及半导体制备装置领域，更具体而言，涉及一种大尺寸晶体生长单晶炉，包括PBN坩埚、石英管、加热器，其中加热器包括底部加热器和侧壁加热器；通过坩埚底部玻璃棒提供热流失通道；通过多组加热器实现对炉芯及坩埚炉、石英管的热辐射加热，多组加热器独立运作，实现不同部位不同温度的加热；通过底部加热器温度调整，控制晶体的引晶及放肩过程。晶体生长引晶阶段通过对螺旋加热器的功率微调整达到控制PBN坩埚内锥形温度梯度的控制，进行引晶并实现晶体放肩。放肩完成后，长体阶段通降低圆锥外围加热器的功率的大幅调整，增大晶体头部的温度梯度，进而实现对热散失途径的控制，实现微凸的晶体生长液面，达到长大直径长尺寸晶体的目的。