一种半导体测试系统的校准装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111021590.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113447874A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113447874A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | G01R35/00（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 邵凌明;毛国梁 | 申请（专利权）人 | 南京宏泰半导体科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京新众合专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 彭雄 |
| 地址 | 210000江苏省南京市浦口区兰花路19号江苏可成科技产业园南园26号楼2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种半导体测试系统的校准装置及方法，包括上位机、通讯单元、一个以上的功能板卡、校准单元、数据存储单元，数据存储单元存储是将系统校准项目设计到的参数规格定义成变量参数，测试系统软件在运行时，会根据功能板卡及版本ID信息，自动识别需要调用的校准项目参数表头，载入到系统软件钟，用户在执行测试系统校准操作时，系统软件内的统一编写为符合既定规则的校准函数，将执行校准项目参数驱动功能板卡及外接仪器完成校准作业。本发明具有软件函数简洁，维护方便，升级效率高，测试快捷等优点，并且可减少代码编写与修改中的人为失误，提升系统的稳定性与兼容性。 |
