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一种简易高效的植球装置

基本信息

申请号 CN202022611396.7 申请日 -
公开（公告）号 CN214672506U 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN214672506U 申请公布日 2021-11-09
分类号 H01L21/48（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 杨东升;师建行;尹庭辉;刘思怡;沈国策 申请（专利权）人 南京国微电子有限公司
代理机构 南京君陶专利商标代理有限公司 代理人 严海晨
地址 210016江苏省南京市江宁区秣陵街道正方中路166号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种简易高效的植球装置，包括真空吸附平台及网板，真空吸附平台有两路独立的真空，分别对待植球芯片及网板进行真空吸附固定；网板通过硅片或玻璃制作，网板上表面通过腐蚀形成腔体，中部通过腐蚀或激光切割形成与待植球芯片对应的通孔。植球时，先通过一路真空管路吸附待植球芯片，另一路真空管路吸附助焊剂印刷网板，然后印刷助焊剂，接着取下网板；接着通过另一路真空管路吸附植球网板进行植球后垂直取下植球网板，然后将已植球芯片放入炉中回流即可。优点：该装置制造周期短、加工成本低、使用简易方便，便于不同产品间的简便切换。通过硅片做网板解决了传统钢网存在的翘曲，实现超小球的高精度、高效率植球工艺。