一种化学机械抛光液及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN201911409271.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113122146A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113122146A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | C09G1/02（2006.01）I;H01L21/768（2006.01）I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 马健;荆建芬;姚颖;周靖宇;杨俊雅;黄悦锐;蔡鑫元;陆弘毅;王雨春 | 申请（专利权）人 | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 北京大成律师事务所 | 代理人 | 李佳铭;王芳 |
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层，以及第3层的部分区域 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种化学机械抛光液，包括：复合研磨颗粒、氧化剂和水，其中，所述复合研磨颗粒为选自二氧化铈、二氧化钛、二氧化锰和三氧化二铝中的两种或多种金属氧化物相互包覆的复合氧化物颗粒。本发明中的化学机械抛光液具有较高的含碳材料的去除速率，可用于含碳材料的化学机械抛光。 |
