一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置
基本信息
| 申请号 | CN201821784911.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209406962U | 公开（公告）日 | 2019-09-20 |
| 申请公布号 | CN209406962U | 申请公布日 | 2019-09-20 |
| 分类号 | B08B3/08（2006.01）I; B08B3/10（2006.01）I; B08B3/12（2006.01）I; B08B13/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 汪伟华 | 申请（专利权）人 | 浙江羿阳材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 浙江永鼎律师事务所 | 代理人 | 陆永强 |
| 地址 | 313200 浙江省湖州市莫干山高新区武康镇长虹中街339号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，包括底座，所述底座上固定设有搅拌箱，所述搅拌箱下设有空腔一，所述搅拌箱的侧壁内开设有空腔二，所述空腔二内填充有导热介质，所述导热介质内设有若干加热棒，所述搅拌箱设有封盖，所述搅拌箱内设有凹槽，所述凹槽内设有转盘，所述转盘上固定设有立柱，所述立柱周围与所述转盘之间固定设有搅拌挡板，所述搅拌挡板远离所述立柱的一侧中部固定设有搅拌杆。有益效果：相较于普通的浸泡清洗，针对性的清洁，增加了清洗的洁净度和清洗效率。增加了去除有机污染物的力度。通过在空腔一内设有超声波发生器，使得搅拌箱内的硅片在经受搅拌清洗外，增加超声波清洗，双重清洗，进一步的增加清洗的力度。 |
