一种非机械接触式磁致原位超声振动的化学机械抛光方法
基本信息
| 申请号 | CN202110724646.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113231958A | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN113231958A | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | B24B37/10（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I;B24B1/00（2006.01）I;B24B1/04（2006.01）I;C09G1/02（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 张新宇 | 申请（专利权）人 | 无锡兴华衡辉科技有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市汇诚永信专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 曹慧萍 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区长江南路35-322号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种非机械接触式磁致原位超声振动的化学机械抛光方法。本发明采用含有铁磁性颗粒的化学机械抛光液，并在基材待抛光表面的上下两侧分别设置覆盖抛光表面区域的周期性的交替磁场，通过非接触的电磁感应方式作用于抛光液内的铁磁性颗粒，使铁磁性颗粒产生高频振动，同时带动抛光液中的磨料作用于抛光表面。本发明解决了现有的机械接触式超声振动辅助化学机械抛光方法中存在的一些技术问题，如超声波振动需要通过机械接触传导到抛光表面、结构复杂、振动传导效率低，且需要进行机械结构振动模态匹配等工作。 |
