具有InGaN电子减速层的VCSEL激光器

基本信息

申请号 CN202123147411.8 申请日 -
公开(公告)号 CN216929168U 公开(公告)日 2022-07-08
申请公布号 CN216929168U 申请公布日 2022-07-08
分类号 H01S5/183(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 田康凯;贾兴宇;张紫辉;张勇辉 申请(专利权)人 天津赛米卡尔科技有限公司
代理机构 天津知晓邦知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 -
地址 300400天津市北辰区双口镇河北工业大学科技园5号楼8-806
法律状态 -

摘要

摘要 一种具有InGaN电子减速层的VCSEL激光器,包括衬底、缓冲层、氮化物外延DBR、N‑型半导体传输层、N‑型InGaN电子减速层、多量子阱层、P‑型电子阻挡层、P‑型半导体传输层、P‑型重掺杂半导体传输层、电流限制孔、电流扩展层、介质DBR、P型欧姆电极;N‑型半导体传输层、N‑型InGaN电子减速层、多量子阱层、P‑型电子阻挡层、P‑型半导体传输层、P‑型重掺杂半导体传输层、电流扩展层形成有台肩,台肩的底部延伸至N‑型半导体传输层,暴露的N‑型半导体传输层上设有N型欧姆电极;本申请实现对电子的阻挡效应,限制电子从MQWs中泄露,促进空穴注入与其发生辐射复合,通过InGaN的插入,会引入势垒,提高辐射复合速率,提高VCSEL光输出功率和光电转换效率,从而提高器件的性能。