用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202011585192.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112683210A | 公开（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申请公布号 | CN112683210A | 申请公布日 | 2021-04-20 |
| 分类号 | G01B21/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 徐展菲;庄启陞;张亦锋 | 申请（专利权）人 | 上海利扬创芯片测试有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张艳美;刘光明 |
| 地址 | 200000上海市嘉定区永盛路2229号3幢1层、2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆测试的MAP图偏移检测方法，该方法包括如下步骤：获取晶圆的MAP图；从MAP图的设定坐标区域获取其最外围N圈内的坐标点的所有BIN项；计算所有BIN项中含有的失败BIN项的比例；判断所有BIN项中含有的失败BIN项的比例是否达到或超过预设基准值，如果判断结果为是，则判定MAP图发生偏移。本发明MAP图偏移检测方法能够及时发现MAP图出现偏移的情况。 |
