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太赫兹探测装置的制造方法及探测设备

基本信息

申请号 CN202111335830.6 申请日 -
公开（公告）号 CN113782644A 公开（公告）日 2021-12-10
申请公布号 CN113782644A 申请公布日 2021-12-10
分类号 H01L31/18（2006.01）I;H01L31/0232（2014.01）I;G01J1/00（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 赵自然;姜寿禄;马旭明 申请（专利权）人 北京神目科技有限公司
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 张琛
地址 100084北京市海淀区双清路同方大厦A座2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种太赫兹探测装置的制造方法和探测设备，可以应用于太赫兹检测技术领域。本发明实施例的太赫兹探测装置包括呈阵列排布的检测器和透镜，该制造方法包括：通过双面光刻工艺在衬底基板的第一表面的第一区域光刻出多个检测器，形成检测器阵列，在衬底基板的第一表面的第二区域设置至少一个第一对准标记；通过双面光刻工艺在衬底基板的第二表面的第三区域光刻出多个透镜安装部，在衬底基板的第二表面的第四区域设置至少一个第二对准标记；将透镜安装至透镜安装部以形成探测装置；通过双面光刻机将第一对准标记与第二对准标记进行对准，以使检测器的中心与透镜安装部的中心的偏移量在设定阈值，有效提高透镜与检测器的安装精度。