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探测频段可调的太赫兹探测装置及制造方法、成像设备

基本信息

申请号 CN202111335814.7 申请日 -
公开（公告）号 CN113782666A 公开（公告）日 2021-12-10
申请公布号 CN113782666A 申请公布日 2021-12-10
分类号 H01L39/02（2006.01）I;H01L39/24（2006.01）I;G01J1/42（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 赵自然;姜寿禄;马旭明 申请（专利权）人 北京神目科技有限公司
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 张琛
地址 100084北京市海淀区双清路同方大厦A座2层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种探测频段可调的太赫兹探测装置及制造方法、太赫兹成像设备，可以应用于太赫兹检测技术领域。该探测频段可调的太赫兹探测装置，包括：衬底基板，具有相对设置的第一表面和第二表面；检测器，设置在衬底基板的第一表面，用于检测第一频段范围的太赫兹信号；可调谐滤波器，设置在衬底基板的第二表面，用于对第一频段范围的太赫兹信号进行滤波，使检测器检测到第二频段范围的太赫兹信号，第二频段范围通过加载在可调谐滤波器的偏置电压进行调节，以使第二频段范围在第一频段范围内变化。能够解决在增加太赫兹探测频段的情况下，不增加检测器数量，保证检测的可靠性，同时节约硬件成本。