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膜片式薄膜压力传感器

基本信息

申请号 CN201510504679.2 申请日 -
公开（公告）号 CN105136376A 公开（公告）日 2015-12-09
申请公布号 CN105136376A 申请公布日 2015-12-09
分类号 G01L9/04(2006.01)I;G01L19/04(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 雷卫武;邓跃民 申请（专利权）人 州际科技实业有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 333200 江西省婺源县工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种膜片式薄膜压力传感器，包括一个外壳体，一个焊接在所述外壳体底部中心的应变膜片，一个固定于所述外壳体内部的电路板，其特征在于，所述应变膜片是采用4英寸或6英寸或10英寸的不锈钢或钛合金大片膜片材料，通过离子束溅射分别沉积绝缘膜、应变膜、焊盘膜、保护膜，然后光刻形成惠斯通电桥电路后切割分离的。另外，大片膜片材料最薄可为0.03mm，可以制造50kPa小量程压力传感器产品。由于采用大片膜片材料批量化生产弹性体，生产效率高，生产成本低，并保留了薄膜压力传感器的优良性能，克服了现有薄膜压力传感器的成本高、小量程产品生产困难的缺点，产品在军工、民用等领域得到广泛应用。