一种单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201620725534.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206902281U | 公开（公告）日 | 2018-01-19 |
| 申请公布号 | CN206902281U | 申请公布日 | 2018-01-19 |
| 分类号 | C30B15/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈五奎;刘强;付红霞;黄振华;冯加保 | 申请（专利权）人 | 青海拓日新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都点睛专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 青海拓日新能源科技有限公司 |
| 地址 | 810007 青海省西宁市经济技术开发区昆仑东路5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉。该单晶炉通过在进气管上设置气体预热装置，气体预热装置可以对进入炉体内的氩气进行加热，避免温度较低的氩气进入炉体内对炉体内的温度造成较大的影响，在单晶炉工作的过程中，可以保证炉体内的温度保持在一个稳定的范围内，避免对晶棒的生长造成较大的影响，保证最后长成的硅棒质量达到较高的质量水平，另外，利用抽气泵将抽气孔排出的高温废氩气通过引气管导入空腔内，利用高温废氩气对新的氩气进行预热，不但可以充分利用高温废氩气中含有的热量，实现节能减排，同时，被预热的氩气通入炉体内，可以减少氩气带走炉体内的热量，进一步实现节能减排。适合在单晶生产设备领域推广应用。 |
