首页/ 青海拓日新能源科技有限公司/ 专利详情

单晶炉

基本信息

申请号 CN201620720001.8 申请日 -
公开（公告）号 CN206799790U 公开（公告）日 2017-12-26
申请公布号 CN206799790U 申请公布日 2017-12-26
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 陈五奎;刘强;付红霞;黄振华;冯加保 申请（专利权）人 青海拓日新能源科技有限公司
代理机构 成都点睛专利代理事务所（普通合伙） 代理人 青海拓日新能源科技有限公司
地址 810007 青海省西宁市经济技术开发区昆仑东路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种能够提高生产效率的单晶炉。该单晶炉包括炉体，所述炉体内部设有石墨坩埚，所述石墨坩埚底部通过坩埚轴与炉体底部相固定，所述石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有侧部加热器，所述炉体侧壁上设置有抽气孔，所述石墨坩埚的底部设置有底部加热器，所述底部加热器与侧部加热器为一体式结构。通过在石墨坩埚的底部设置底部加热器，可以加速多晶硅原料的融化，缩短原料的融化时间，可以大大提高生产效率，同时，利用底部加热器可以对石墨坩埚底部进行温度补偿，避免石墨坩埚底部温度较低造成晶棒生长速度缓慢，为了便于安装和拆卸，所述底部加热器与侧部加热器为一体式结构。适合在单晶生产设备领域推广应用。