一种微反射镜结构及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201010197292.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101881880A | 公开（公告）日 | 2010-11-10 |
| 申请公布号 | CN101881880A | 申请公布日 | 2010-11-10 |
| 分类号 | G02B26/08(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 杨拥军;徐永青;陈愿勤 | 申请（专利权）人 | 中山市张家边企业集团有限公司企业技术中心 |
| 代理机构 | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 华辉 |
| 地址 | 528436 广东省中山市火炬开发区康乐大道51号西三楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种微反射镜结构及其制造方法。所述微反射镜结构包括玻璃衬底和硅片，所述硅片具有平行的上平面层和下平面层，一镜面支撑柱设置在上下平面层中心并与其一体连接；所述上平面层形成反射镜面，所述下平面层形成硅驱动极板、键合锚点以及扭梁，所述扭梁的一端与硅驱动极板连接，另一端与键合锚点连接；所述硅片与玻璃衬底通过所述键合锚点键合。相对于现有技术，本发明的微反射镜制造方法制造的成品具有低驱动电压且微反射镜的镜面采用硅片原始抛光镜面，光洁度高，同时工艺简单，成本低。 |
