晶体硅太阳能电池用洗磷溶液及其制造、使用方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

晶体硅太阳能电池用洗磷溶液及其制造、使用方法

基本信息

申请号	CN201010272931.9	申请日	-
公开（公告）号	CN102383137A	公开（公告）日	2012-03-21
申请公布号	CN102383137A	申请公布日	2012-03-21
分类号	C23G1/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	严琼林	申请（专利权）人	上海泰阳绿色能源有限公司
代理机构	上海汉声知识产权代理有限公司	代理人	上海交大泰阳绿色能源有限公司
地址	200240 上海市闵行区剑川路951号
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种晶体硅太阳能电池用洗磷溶液，主要由氢氟酸(HF)以及去离子水组成，所述氢氟酸(HF)中添加表面活性剂，且该三种组分重量配比是：氢氟酸(HF)7％-15％，表面活性剂5-100ppm，去离子水85％-95％；上述洗磷溶液的制造方法是：先将去离子水加入容器中，缓慢加入氢氟酸(HF)和表面活性剂，搅拌5-10min，使其完全溶解；上述洗磷溶液的使用方法是：将表面残留有杂质的硅片浸入所述的洗磷溶液中，温度为常温，时间为1-3分钟，然后用盐酸清洗后再用去离子水清洗。本发明所公开的洗磷溶液，能有效处理扩散后硅片表面的磷硅玻璃(PSG)及杂质，使得硅片表面更为清洁，明显提高太阳能电池的电性能。