磁体用调节机构
基本信息
| 申请号 | CN201410083058.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103849846B | 公开（公告）日 | 2015-12-09 |
| 申请公布号 | CN103849846B | 申请公布日 | 2015-12-09 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 卢秀强;熊树林;李响 | 申请（专利权）人 | 东莞银行股份有限公司虎门支行 |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人 | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址 | 523000 广东省东莞市虎门镇龙眼十五路79号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种磁体用调节机构，适用于磁控溅射镀膜机，磁控溅射镀膜机包括镀膜室、加热保温板、靶材、安装架及呈板状结构的磁体，加热保温板及靶材均设于镀膜室内，且靶材位于加热保温板的一侧，安装架安装于镀膜室的外部；磁体呈移动的设于安装架，磁体位于加热保温板的另一侧且两者呈间隔开的设置，磁体用调节机构设于磁体及安装架之间，磁体用调节机构包括移磁调节组件及均磁调节组件，移磁调节组件及均磁调节组件均设于磁体及安装架之间，通过移磁调节组件驱使磁体相对靶材沿平行于靶材的方向做平移调节操作，通过均磁调节组件驱使磁体弯曲以调节磁体两端与靶材的距离。从而实现根据实际的需求对磁体进行调节。 |
