一种硅片激光与酸液结合制绒工艺
基本信息
| 申请号 | CN201711057483.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109755098B | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN109755098B | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | H01L21/02;H01L21/268;C30B33/10;C30B33/04 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李亚哲;黄志焕;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;王晓捧;王宏宇;王鹏 | 申请（专利权）人 | TCL环鑫半导体（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 300380 天津市西青区华苑产业区（环外）海泰东路12号A座二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种硅片激光与酸液结合制绒工艺，包括对激光制绒后的硅片进行酸性溶液制绒。本发明的有益效果是对扩散后的硅片进行激光制绒，在光滑的硅片表面形成凹凸不平的熔融多晶硅，提高硅片表面的粗糙度，且采用激光制绒，制绒步骤简单，设备投入成本少；通过酸性溶液对激光制绒后的硅片进行湿法腐蚀，使得硅片表面的粗糙度进一步增大，使得保护胶不易脱落，具有较大的附着力。 |
