一种硅片激光与碱液结合制绒工艺
基本信息
| 申请号 | CN201711059127.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109755102B | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN109755102B | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | H01L21/02;H01L21/268;C30B33/10;C30B33/04 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李亚哲;黄志焕;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;王晓捧;王宏宇;王鹏 | 申请（专利权）人 | TCL环鑫半导体（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 天津诺德知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 栾志超 |
| 地址 | 300380 天津市西青区华苑产业区（环外）海泰东路12号A座二层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种硅片激光与碱液结合制绒工艺，包括以下步骤：S1：对扩散后的硅片进行激光制绒；S2：对激光制绒后的硅片进行碱性溶液制绒。本发明的有益效果是采用按一定比例配置的玻璃腐蚀液去除扩散后处理的硅片表面的磷、硼硅玻璃，为激光制绒做好准备，采用激光制绒工艺，其制作过程简便快捷，且不受使用环境限制；通过激光制绒，在光滑的硅片表面形成凹凸不平的熔融多晶硅，提高硅片表面的粗糙度，且采用激光制绒，制绒步骤简单，设备投入成本少；通过碱性溶液对激光制绒后的硅片进行湿法腐蚀，使得硅片表面的粗糙度进一步增大，使得保护胶不易脱落，具有较大的附着力。 |
