石英晶片的清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN201920152066.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209631709U | 公开（公告）日 | 2019-11-15 |
| 申请公布号 | CN209631709U | 申请公布日 | 2019-11-15 |
| 分类号 | B08B3/04;B08B13/00 | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 欧阳林;欧阳晟;韩何明;欧阳华 | 申请（专利权）人 | 广州晶优电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州润禾知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 林伟斌 |
| 地址 | 510663广东省广州市高新技术产业开发区香山路17号厂房B301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及石英晶片加工领域，具体公开了一种石英晶片的清洗装置，所述清洗装置用于放置安装有石英晶片的镀膜夹具；所述清洗装置包括一上开口的提篮，所述提篮设有若干用于插入安装镀膜夹具的导轨槽。本实用新型提供了一种结构简单的石英晶片的清洗装置，通过设置多个用于安装镀膜夹具的导轨槽，由于石英晶片是直接安装在镀膜夹具上，在清洗过程中，完全避免了石英晶片在清洗过程中出现的吸附堆叠在一起的现象，有效提升石英晶片的清洗效果，实现对石英晶片的全面清洗，有助于产品质量及合格率的提高；同时本方案能够实现大量石英晶片的同时清洗，清洗效率高，有助于提高生产效率。 |
