一种晶片的烘烤装置
基本信息
| 申请号 | CN202123439273.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216448564U | 公开（公告）日 | 2022-05-06 |
| 申请公布号 | CN216448564U | 申请公布日 | 2022-05-06 |
| 分类号 | F26B15/18（2006.01）I;F26B23/00（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 欧阳华;欧阳晟;曹锋;陈炀;方宏森 | 申请（专利权）人 | 广州晶优电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州润禾知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 郑永泉 |
| 地址 | 510663广东省广州市高新技术产业开发区香山路17号厂房B301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及石英晶片生产设备技术领域，更具体地，涉及一种晶片的烘烤装置，包括加热装置、传输辊、基座平台和传输带，所述传输辊设置在基座平台的两侧，所述传输带设置在传输辊上，所述加热装置设置在基座平台上；还包括收纳盘支架，所述收纳盘支架用于放置收纳盘，所述传输带上设有网状孔，所述收纳盘支架通过网状孔与所述传输带形成活动连接。在保证烘烤质量的同时，提高烘烤的效率。 |
