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石英晶片的脱水提篮及脱水装置

基本信息

申请号 CN201920157388.4 申请日 -
公开（公告）号 CN209910282U 公开（公告）日 2020-01-07
申请公布号 CN209910282U 申请公布日 2020-01-07
分类号 F26B5/08（2006.01） 分类 干燥;
发明人 欧阳林; 欧阳晟; 韩何明; 欧阳华 申请（专利权）人 广州晶优电子科技有限公司
代理机构 广州润禾知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 林伟斌
地址 510663 广东省广州市高新技术产业开发区香山路17号厂房B301
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及石英晶片加工领域，具体公开了一种石英晶片的脱水提篮，该所述脱水提篮呈上开口，包括若干用于插入安装镀膜夹具的导轨槽，所述脱水提篮两侧设有安装孔，所述提篮上设有离心脱水时供液体脱出的脱水孔。本实用新型还公开了一种石英晶片的脱水装置，包括离心旋转支架和上述的脱水提篮，所述脱水提篮安装在所述离心支架上。本实用新型提供了一种能够安装镀膜夹具的脱水提篮以及脱水装置，其结构简单，只需将镀膜夹具插入安装到脱水提篮中，安装好后通过高速运转将晶片和镀膜夹具的水分甩干，操作简便，直接通过离心脱水，无需采用酒精，降低了生产成本。