一种真空阀门
基本信息
| 申请号 | CN202020026135.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212155868U | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN212155868U | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | F16K3/18(2006.01)I | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 廖海涛;孙文彬 | 申请（专利权）人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 代理机构 | 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种真空阀门，包括门板部，传动部和支架部。门板部包括门板、门板固定杆、门板固定连接块和门板轴杆连接件。传动部包括所述传动部包括传动轴、传动轴套筒、支架套筒、升降滑轨、弹性部件、连接凸轮、连接凸轮连接件和气缸。支架部包括整体气动支架、气缸支架，所述气缸支架还包括气缸侧边支架、气缸U型支架和气缸上端支架。整个传动部安装在支架部上，传动部的上端和门板部固定连接。本实用新型结构简易，维修方便，不易产生污染。发生故障时可以锁定装置，保护产品和人身安全。 |
