一种固定晶圆用静电吸盘
基本信息
| 申请号 | CN202020126023.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211629057U | 公开（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申请公布号 | CN211629057U | 申请公布日 | 2020-10-02 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 廖海涛;吕军 | 申请（专利权）人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 代理机构 | 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种固定晶圆用静电吸盘，具有晶圆固定单元，晶圆固定单元包括底盘以及设置在底盘下端的电容盘，底盘和电容盘通过辅助安装单元进行定位安装，电容盘内设有冷却通道，用于对其进行冷却，电容盘的下端面固定连接有位移单元，位移单元的输出可贯穿晶圆固定单元带动晶圆升降。辅助安装单元包括底盘上设置的两个凹槽和电容盘上设置的2个凸起，凹槽与凸起位置相对应设置，且凹槽与凸起互补设置。本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种便于安装，且冷却效果好的固定晶圆用的静电吸盘。 |
