一种双晶圆反应腔式去胶机
基本信息
| 申请号 | CN202020069824.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211629045U | 公开（公告）日 | 2020-10-02 |
| 申请公布号 | CN211629045U | 申请公布日 | 2020-10-02 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 廖海涛;王斌 | 申请（专利权）人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 代理机构 | 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种双晶圆反应腔式去胶机，属于清洗设备技术领域，包括机架和固定架，所述机架顶部表面焊接有固定架，所述机架顶部表面一侧安装有第一清洗槽，所述第一清洗槽一侧安装有第二清洗槽，所述第一清洗槽和第二清洗槽内腔底部表面均安装有超声波振板，所述固定架内腔顶部表面安装有步进电机组，所述步进电机组表面输出端安装有滑块，所述滑块底部表面安装有连接板。本实用新型通过步进电机组和电动伸缩杆相互配合，可将载有载有双晶圆的清洗篮依次输送至第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽中，从而能够起到对双晶圆进行二次清洗和烘干处理，既能提高了工作效率，又能节省后期烘干的时间。 |
