首页/ 无锡市邑勉微电子有限公司/ 专利详情

一种等离子刻蚀机夹具基座

基本信息

申请号 CN202020069794.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211629035U 公开（公告）日 2020-10-02
申请公布号 CN211629035U 申请公布日 2020-10-02
分类号 H01J37/32(2006.01)I 分类 -
发明人 廖海涛;吕军 申请（专利权）人 无锡市邑勉微电子有限公司
代理机构 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 无锡市邑勉微电子有限公司
地址 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种等离子刻蚀机夹具基座，属于等离子刻蚀机配件技术领域，包括支撑板，所述支撑板两侧壁底端位置一体成型有凸台，所述凸台表面对称开设有螺纹孔，所述支撑板两侧壁靠近顶端位置固定连接有连杆，所述连杆自由端固定连接有手柄，所述支撑板上表面中间位置开设有凹槽，所述凹槽左右两侧均设有装配槽，所述凹槽前后两侧对称开设有滑槽，所述支撑板下表面中间位置开设有卡槽，所述支撑板下表面对称开设有定位槽。本实用新型支撑板上表面的凹槽、装配槽和滑槽，分别可以安装不同种类的夹具，适用性广泛，支撑板下表面的卡槽、定位槽和通孔，便于采用不同的方式对支撑板安装固定，操作简单，省时省力。