一种干法去胶机驱动装置
基本信息
| 申请号 | CN202020069389.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212161771U | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN212161771U | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 廖海涛;孙文彬 | 申请（专利权）人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 代理机构 | 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种干法去胶机驱动装置，具有安装座，安装座的下端连接有电机安装座，电机安装座连接有升降电机，升降电机向安装座的上端垂直延伸有升降丝杆，升降丝杆连接有第一驱动装置和第二驱动装置。本实用新型结构紧凑，占用空间小，具有第一驱动装置和第二驱动装置，第一驱动装置的第一驱动轴和第二驱动装置的第二驱动轴共同协作驱动机器手从片盒取片运送给腔体，实现晶圆类干法去胶机的自动化。 |
