首页/ 无锡市邑勉微电子有限公司/ 专利详情

一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置

基本信息

申请号 CN202020069859.9 申请日 -
公开（公告）号 CN211629037U 公开（公告）日 2020-10-02
申请公布号 CN211629037U 申请公布日 2020-10-02
分类号 H01J37/32(2006.01)I 分类 -
发明人 廖海涛;王斌 申请（专利权）人 无锡市邑勉微电子有限公司
代理机构 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 无锡市邑勉微电子有限公司
地址 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种等离子体刻蚀机用下电极屏蔽装置，包括安装板和上盖板，所述上盖板位于安装板正上方，所述安装板和上盖板表面均开设有纵向滑槽和横向滑槽，所述横向滑槽位于纵向滑槽一端，且纵向滑槽和横向滑槽之间相互连通，所述安装板和上盖板两侧均开设有插扣槽，所述插扣槽内均插扣安装有封隔板，所述纵向滑槽内滑动安装有滑扣，所述滑扣表面焊接有安装架，本实用新型通过安装板底端卡扣安装的罩壳，可对等离子体刻蚀机的射频电源匹配器进行防护与信号屏蔽，通过安装架两侧表面螺栓安装的风琴板，便利于利用风琴板舒展性填补封隔板之间的间隙，从而起到提高屏蔽效果的功能。