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一种等离子体刻蚀机用匀气盘

基本信息

申请号 CN202020069857.X 申请日 -
公开（公告）号 CN211629036U 公开（公告）日 2020-10-02
申请公布号 CN211629036U 申请公布日 2020-10-02
分类号 H01J37/32(2006.01)I 分类 -
发明人 廖海涛;王斌 申请（专利权）人 无锡市邑勉微电子有限公司
代理机构 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 无锡市邑勉微电子有限公司
地址 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种等离子体刻蚀机用匀气盘，包括安装罩，所述安装罩顶端旋转安装有衔接管，所述安装罩底端旋转安装有衔接罩，所述衔接罩内部底端开设有安装槽，所述安装槽内旋转安装有供气盒，所述供气盒底端表面镶嵌有均气盘，本实用新型通过供气盒顶端表面镶嵌的一号进气管和二号进气管，便利于通过一号进气管和二号进气管不同的口径来改变气体进入供气盒内的压强与气体量，从而以便气体均匀的由均气盘排出，可避免因单独供气管道供气气体集中作用于部分出气孔，导致排气不均匀影响等离子体刻蚀操作的情况出现。