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一种法拉第屏蔽反应腔室

基本信息

申请号 CN202020120986.7 申请日 -
公开（公告）号 CN211629038U 公开（公告）日 2020-10-02
申请公布号 CN211629038U 申请公布日 2020-10-02
分类号 H01J37/32(2006.01)I 分类 -
发明人 廖海涛;张飞 申请（专利权）人 无锡市邑勉微电子有限公司
代理机构 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 无锡市邑勉微电子有限公司
地址 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种法拉第屏蔽反应腔室。包括腔体顶盖、顶盖密封圈、石英管、电感支撑体、腔体密封圈、放电线圈、腔体密封盖、离子聚焦圈，还包括气体分散盘和线圈支架；电感支撑体套在石英管外，石英管上端通过顶盖密封圈与腔体顶盖密封固定连接，气体分散盘安装在腔体顶盖轴心下方，石英管下端通过腔体密封圈与腔体密封盖密封固定连接，离子聚焦圈安装在腔体密封盖下方，电感支撑体一周安装有线圈支架，线圈支架外缠绕有放电线圈。本实用新型提供的反应腔室，其可以避免反应腔体与外侧的放电线圈相接触造成短路，可以均匀快速地产生所需的等离子体，且结构简单。