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一种干法去胶机顶针升降装置

基本信息

申请号 CN202020062537.1 申请日 -
公开（公告）号 CN212161784U 公开（公告）日 2020-12-15
申请公布号 CN212161784U 申请公布日 2020-12-15
分类号 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 廖海涛;孙文彬 申请（专利权）人 无锡市邑勉微电子有限公司
代理机构 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 无锡市邑勉微电子有限公司
地址 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种干法去胶机顶针升降装置，包括安装座，安装座设有气缸，气缸连接有升降波纹装置，升降波纹装置连接有联轴器，联轴器固定连接有支撑板，支撑板左侧和支撑板右侧分别连接有顶针。本实用新型结构简单，拆卸、维护方便，设有升降波纹装置能够在真空环境下密封升降，升降波纹装置连接有安装于支撑板下方的联轴器以及连接于安装座的气缸，传递动力时一同运动，防止支撑板和安装座脱开，起过载保护维持平稳的作用本实用新型支撑板设有镜像对称的翼形部，翼形部设置对称的顶针，能够使本实用新型在升降过程中保持平稳。