一种晶圆的旋转升降传送机构
基本信息
| 申请号 | CN202020026974.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212161770U | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN212161770U | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 廖海涛;孙文彬 | 申请（专利权）人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 代理机构 | 常州唯思百得知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡市邑勉微电子有限公司 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区金城东路333-1-801 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体生产制造技术领域，特别涉及一种晶圆旋转升降传送机构。所述晶圆旋转升降传送机构包括固定机台、移动机台、升降机构和旋转机构，所述固定机台固定安装在制造设备上，所述移动机台在所述固定机台上可以上下滑动，所述升降机构和所述旋转机构均安装在所述移动机台上。本实用新型结构较为简单，易于维护，占用空间少，并且可以同时完成旋转和升降两个传送动作。 |
