一种用于硅片的表面清洗装置
基本信息
| 申请号 | CN202022464123.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214022332U | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN214022332U | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 雷杰;周炜;王庆钱;杨大谊;周璁 | 申请（专利权）人 | 江西钛创新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 江西九驰知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李睿 |
| 地址 | 330096江西省南昌市南昌高新技术产业开发区尤口路1018号3栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及硅片加工领域，具体为一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽的上侧安装有顶板，所述顶板的底部四角处均通过连杆和清洗槽的外壁固定连接。本实用新型通过放置框连通硅片在清洗槽内移动，同时通过超声波发生器产生超声波带动水分子跳动，达到对硅片表面清洗的效果，提升了清洗的效率，使得清洗的更加彻底，较为实用，适合广泛推广与使用。 |
