一种从电子PGMEA废溶剂中回收PGMEA的方法
基本信息
申请号 | CN202110336400.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113072447A | 公开(公告)日 | 2021-07-06 |
申请公布号 | CN113072447A | 申请公布日 | 2021-07-06 |
分类号 | C07C67/48(2006.01)I;C07C67/52(2006.01)I;C07C67/54(2006.01)I;C07C69/14(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
发明人 | 陈国平;左姣;倾彩霞;何睿鸣;胡阶卢 | 申请(专利权)人 | 新中天环保股份有限公司 |
代理机构 | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 郑雪红 |
地址 | 401120重庆市两江新区汇金路16号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明属于羧酸酯的提取技术领域,公开了一种从电子PGMEA废溶剂中回收PGMEA的方法,包括以下步骤:先将废溶剂导入薄膜蒸发器内,并利用蒸汽进行加热,产生废溶剂气相,并将废溶剂气相导入冷凝器内进行冷凝,形成PGMEA半成品,并导入溶剂接收中间槽;再将PGMEA半成品导入精馏塔内,精馏塔的塔顶压力保持在5~15KPa,精馏塔的塔顶温度为48~52℃,精馏塔的塔釜温度为85~89℃,精馏塔侧线的温度为82~86℃;最后从精馏塔的侧线采出PGMEA。本发明解决了现有技术不能去除废溶剂内的光刻胶,导致回收的PGMEA纯度低的问题。 |
