一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202210288338.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114678252A | 公开（公告）日 | 2022-06-28 |
| 申请公布号 | CN114678252A | 申请公布日 | 2022-06-28 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/26（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 焦纪强;蒙峻;罗成;柴振;谢文君;杨伟顺;万亚鹏;刘建龙;李长春;魏宁斐 | 申请（专利权）人 | 中国科学院近代物理研究所 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 730000甘肃省兰州市南昌路509号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法，包括：泵体，所述泵体的底部形成有接口；泵芯，所述泵芯套设在所述泵体内，所述泵芯的顶端与外部电源连接；若干个钛膜沉积板，若干个所述钛膜沉积板固定安装在所述泵体的内壁，所述钛膜沉积板与所述泵芯隔开。钛升华泵结构还包括冷凝管道，所述冷凝管道缠绕在所述泵体的外壁上，所述冷凝管道的一端为冷凝介质入口，另一端为冷凝介质出口。增加极高真空系统中钛升华泵的抽气面积，同时有效降低钛膜沉积面的温度，提升钛升华泵抽速，使之能满足真空系统中极高真空度的要求。 |
