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一种晶圆裸眼检视装置

基本信息

申请号 CN202022515891.8 申请日 -
公开（公告）号 CN213184216U 公开（公告）日 2021-05-11
申请公布号 CN213184216U 申请公布日 2021-05-11
分类号 H01L21/66 分类 基本电气元件;
发明人 苏广峰;周友 申请（专利权）人 安测半导体技术（江苏）有限公司
代理机构 北京文苑专利代理有限公司 代理人 周会
地址 225000 江苏省扬州市高新技术产业开发区南区创富工厂1号楼1-5层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆裸眼检视装置，包括晶圆承载移动装置和支架，支架上端设置有滑轨；晶圆承载移动装置安装在滑轨上；晶圆承载移动装置下端安装有把手；晶圆承载移动装置外部设置有由前挡板，后挡板，侧挡板以及顶盖组成的观察箱；一侧侧挡板上开有观察窗；顶盖内侧安装有LED光源和多个防静电离子风扇。通过LED光源以及防静电离子风扇，营造一个单一光源的暗室和无微粒、无静电的环境；人员通过观察窗探入暗室内，对晶圆承载移动装置上的晶圆进行人工检视，在暗室环境下，单一的光源在晶圆表面产生漫反射，不会影响晶圆的检验，大大提高晶圆的检验质量和检验速度。