一种PLASMA自动清洁机构
基本信息
申请号 | CN202023044959.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213968028U | 公开(公告)日 | 2021-08-17 |
申请公布号 | CN213968028U | 申请公布日 | 2021-08-17 |
分类号 | B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
发明人 | 尹辉;矫德君 | 申请(专利权)人 | 深圳市凯士特科技有限公司 |
代理机构 | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 秦佩 |
地址 | 518000广东省深圳市宝安区沙井街道新桥岗仔大街59号华好高新科技园A栋11楼03单元 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及清洗设备的技术领域,特别是涉及一种PLASMA自动清洁机构,其便于控制超纯水与piranha化学试剂混合的比例,避免了等离子体过渡清洗或难以清洗完全,提高了装置的清洗效果;包括清洗主体、隔板、气管、三通管、两组储液箱、多组直角固定板、两组注液管、两组第一转动轴、两组转动把手、两组第一锥齿轮、两组第二锥齿轮、两组螺管、两组螺杆和两组压板,清洗主体的内部设置有腔室,底端设置有多组支腿,隔板固定在清洗主体腔室上部,并且隔板的右侧设置有出气孔,气管与清洗主体的左端连通,并且气管的一端穿过隔板,三通管的一端与清洗主体的右端连通。 |
