一种PLASMA自动清洁机构

基本信息

申请号 CN202023044959.5 申请日 -
公开(公告)号 CN213968028U 公开(公告)日 2021-08-17
申请公布号 CN213968028U 申请公布日 2021-08-17
分类号 B08B3/08(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 尹辉;矫德君 申请(专利权)人 深圳市凯士特科技有限公司
代理机构 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 代理人 秦佩
地址 518000广东省深圳市宝安区沙井街道新桥岗仔大街59号华好高新科技园A栋11楼03单元
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及清洗设备的技术领域,特别是涉及一种PLASMA自动清洁机构,其便于控制超纯水与piranha化学试剂混合的比例,避免了等离子体过渡清洗或难以清洗完全,提高了装置的清洗效果;包括清洗主体、隔板、气管、三通管、两组储液箱、多组直角固定板、两组注液管、两组第一转动轴、两组转动把手、两组第一锥齿轮、两组第二锥齿轮、两组螺管、两组螺杆和两组压板,清洗主体的内部设置有腔室,底端设置有多组支腿,隔板固定在清洗主体腔室上部,并且隔板的右侧设置有出气孔,气管与清洗主体的左端连通,并且气管的一端穿过隔板,三通管的一端与清洗主体的右端连通。