一种石墨烯碳纳米管复合薄膜及其制备方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN201611022144.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108070891B | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN108070891B | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | C25D9/04;C23C16/26;C23C28/04;H01L23/492;H01L23/373;H01L23/42 | 分类 | - |
| 发明人 | 杨连乔;陈章福;徐小雪;张建华;殷录桥;吴行阳;廖威;李起鸣;特洛伊·乔纳森·贝克 | 申请（专利权）人 | 镓特半导体科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘星 |
| 地址 | 200436 上海市宝山区上大路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种石墨烯碳纳米管复合薄膜及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：S1：提供一基底，所述基底整体或至少有一面的材质为石墨烯催化剂；S2：进行电镀，使碳纳米管附着在所述基底表面，且所述碳纳米管未覆盖满所述石墨烯催化剂；S3：采用化学气相法在所述基底具有所述石墨烯催化剂的一面继续生长石墨烯，得到石墨烯碳纳米管复合薄膜。本发明具有工艺简单的特点，无需转移的自生长工艺得到的石墨烯/碳纳米管复合薄膜质量比较好，并且复合薄膜与催化基板有良好的接触与附着。 |
