一种用于CVD反应炉的载具保护装置
基本信息
| 申请号 | CN202022843222.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752651U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752651U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/329（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪良恩;安启跃 | 申请（专利权）人 | 安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥洪雷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐赣林 |
| 地址 | 241000安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于CVD反应炉的载具保护装置，涉及半导体器件加工技术领域。本实用新型包括保护盖；保护盖端面开设有镂空板，镂空板上开设有一圆孔，保护盖侧面设置有折边，保护盖的外壁活动设置有卡箍。本实用新型通过载具尾端安装保护装置，对载具进行保护，保护盖上的圆孔与拉杆相配合将载具推入或拉出反应炉，使其在与拉杆发生碰撞时不易受损，同时，不遮挡芯片进出炉时的视线，从而延长载具使用寿命，降低使用成本，该装置设计、加工简单，便于操作。 |
