一种用于CVD反应炉的连杆支撑装置
基本信息
| 申请号 | CN202022843190.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213752657U | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN213752657U | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | H01L21/677（2006.01）I;H01L21/329（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪良恩;安启跃 | 申请（专利权）人 | 安徽安芯电子科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 合肥洪雷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 徐赣林 |
| 地址 | 241000安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于CVD反应炉的连杆支撑装置，涉及半导体器件加工技术领域。本实用新型包括支撑座、竖杆和连杆；竖杆垂直安装在支撑座上表面，竖杆侧壁设置有若干圆环，连杆侧壁设置有连接板，连接板上端固定连接有侧杆，侧杆与连杆同时插入圆环内并与圆环间隙配合，连杆侧壁设置有若干挂杆。本实用新型通过将载有晶圆的载具挂在一连杆上，将连杆横放在若干个挂杆上，再根据工艺需求选择性地将连杆推进或拉出反应炉，持续至完成进炉或出炉过程，过程中不需要操作人员持续手持连杆，因此可同时操作多支CVD沉积反应炉的进出炉，从而减少对人力资源的需求，且结构简单、轻便，使用后可收起，占用生产空间小，实用性强。 |
