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一种测试油回收装置

基本信息

申请号 CN201920199459.7 申请日 -
公开（公告）号 CN209461422U 公开（公告）日 2019-10-01
申请公布号 CN209461422U 申请公布日 2019-10-01
分类号 H01L21/67;B01D1/00;B01D1/30;B01D5/00;B01D53/00;G01R31/26 分类 基本电气元件;
发明人 汪良恩;孙培刚 申请（专利权）人 安徽安芯电子科技股份有限公司
代理机构 上海华诚知识产权代理有限公司 代理人 安徽安芯电子科技股份有限公司
地址 247100 安徽省池州市经济技术开发区富安电子信息产业园10号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种测试油回收装置，包含箱体，所述箱体设有可供晶圆托盘进出的箱门，所述箱体内设有放置晶圆托盘的托架，箱体的底板呈斗型，底板的最低处设有接油管，接油管连接有接油箱，所述接油箱的底部设有排油阀，所述箱体上设有进风口和出风口，所述晶圆托盘位于进风口和出风口之间，所述进风口与风机的吹风口相连接，所述出风口与冷凝装置的冷凝管相连接，所述冷凝管的出油端接入冷凝油箱中。本实用新型不仅对晶圆和晶圆托盘上滴落的测试油进行回收，还对蒸发的测试油进行回收再利用，回收率高达95％以上，极大的节省了测试油的使用成本，且且加快了晶圆上测试油的蒸发效率，节省晶圆测试油蒸发时间，提高工作效率。