一种集成电路芯片制造中化学品取样保护装置
基本信息
| 申请号 | CN202122101690.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215767789U | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN215767789U | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | G01N1/10（2006.01）I;G01N1/22（2006.01）I;B01D46/00（2022.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张玉荣 | 申请（专利权）人 | 上海精泰机电系统工程有限公司 |
| 代理机构 | 上海容慧专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 于晓菁 |
| 地址 | 201206上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区新金桥路28号3108室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种集成电路芯片制造中化学品取样保护装置，包括支撑框、抽气过滤装置、透明隔离帘和滚轮，所述支撑框为由若干根型材搭建的长方体框架结构，于所述支撑框的顶部设置抽气过滤装置，所述抽气过滤装置覆盖由所述支撑框的型材围成的顶面，且所述抽气过滤装置的进气口朝向所述支撑框外部，所述抽气过滤装置的出气口朝向所述支撑框内部，于所述支撑框上设置竖直下垂的透明隔离帘，所述透明隔离帘覆盖由所述支撑框的型材围成的侧面，于所述支撑框的底部设置滚轮。该取样保护装置将取样的化学品与厂房内的空气进行隔离，保证取样出来的化学品不被污染，以便金属离子检测的精准性。 |
