芯片的切割成型方法以及晶圆
基本信息
申请号 | CN202010122841.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111298853B | 公开(公告)日 | 2021-08-10 |
申请公布号 | CN111298853B | 申请公布日 | 2021-08-10 |
分类号 | B01L3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B81C99/00(2010.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 聂泳忠;刘晓敏;林祖鉴;林灿辉;陈世伟;赖凯昌;王津鑫;叶新文 | 申请(专利权)人 | 西人马联合测控(泉州)科技有限公司 |
代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 臧静 |
地址 | 362000福建省泉州市洛江区双阳街道新南社区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种芯片的切割成型方法以及晶圆,切割成型方法包括如下步骤:提供阵列基体,包括底板、分布于底板的导槽及多个具有孔道的芯片单元,导槽与各芯片单元的孔道连通,底板具有与导槽间隔设置的底面以及环绕底面设置的外周面,导槽贯穿外周面并形成开口;在底板上键合盖板并共同形成待灌注体。由导槽的开口向待灌注体内注入呈液体状态的填充材料,使得填充材料至少填充于各芯片单元的孔道并固化,形成晶圆;切割晶圆并形成多个切割体,去除各切割体的填充材料,以成型具有孔道的芯片。本发明实施例提供的芯片的切割成型方法以及晶圆,能够满足芯片的切割成型要求,同时能够避免碎屑进入芯片的孔道内,保证芯片的性能。 |
