传感器及传感器的制造方法

基本信息

申请号 CN201910395482.8 申请日 -
公开(公告)号 CN110319956B 公开(公告)日 2021-09-03
申请公布号 CN110319956B 申请公布日 2021-09-03
分类号 G01L1/22(2006.01)I;G01L9/04(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 聂泳忠 申请(专利权)人 西人马联合测控(泉州)科技有限公司
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人 娜拉
地址 362000福建省泉州市洛江区双阳街道新南社区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供一种传感器及传感器的制造方法,传感器包括两个以上沿第一方向并列设置的感压芯片,两个以上的感压芯片包括:第一感压芯片,包括第一感压膜及连接于第一感压膜周侧的第一侧壁,第一侧壁围合形成第一开口;第二感压芯片,包括第二感压膜及连接于第二感压膜周侧的第二侧壁,第二侧壁围合形成第二开口,第二开口朝向第一感压芯片设置,第一开口背离第二感压芯片设置;其中,第二感压膜上还连接有感压梁,感压梁在第一方向上由第二开口伸出,且感压梁和第一感压膜间隔预设距离设置,以使第一感压膜受力变形时能够和感压梁接触连接。本发明避免了以较厚的感压膜测量小压力的现象,能够有效提高传感器的测量精度。