传感器及传感器的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201910395482.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110319956B | 公开（公告）日 | 2021-09-03 |
| 申请公布号 | CN110319956B | 申请公布日 | 2021-09-03 |
| 分类号 | G01L1/22（2006.01）I;G01L9/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 聂泳忠 | 申请（专利权）人 | 西人马联合测控（泉州）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 娜拉 |
| 地址 | 362000福建省泉州市洛江区双阳街道新南社区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供一种传感器及传感器的制造方法，传感器包括两个以上沿第一方向并列设置的感压芯片，两个以上的感压芯片包括：第一感压芯片，包括第一感压膜及连接于第一感压膜周侧的第一侧壁，第一侧壁围合形成第一开口；第二感压芯片，包括第二感压膜及连接于第二感压膜周侧的第二侧壁，第二侧壁围合形成第二开口，第二开口朝向第一感压芯片设置，第一开口背离第二感压芯片设置；其中，第二感压膜上还连接有感压梁，感压梁在第一方向上由第二开口伸出，且感压梁和第一感压膜间隔预设距离设置，以使第一感压膜受力变形时能够和感压梁接触连接。本发明避免了以较厚的感压膜测量小压力的现象，能够有效提高传感器的测量精度。 |
