一种Si基柔性不锈钢结构太阳电池及制备方法

基本信息

申请号 CN201510473747.3 申请日 -
公开(公告)号 CN105047740B 公开(公告)日 2017-10-13
申请公布号 CN105047740B 申请公布日 2017-10-13
分类号 H01L31/0392(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/077(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张东 申请(专利权)人 辽宁国灿供电有限公司
代理机构 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 沈阳工程学院;河南迎基太阳能科技有限公司
地址 110136 辽宁省沈阳市沈北新区蒲昌路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于一种太阳电池制造技术领域,特别涉及一种加入保护层的Si基柔性衬底的薄膜太阳能电池及制备方法,从上到下依次包括金属Ag电极、ITO透明导电薄膜、N型Si晶体薄膜、本征I型纳米晶硅薄膜作为中间层、P型纳米晶硅薄膜、GZO透明导电薄膜、BCN薄膜绝缘层、金刚石保护薄膜绝缘层和不锈钢柔性衬底。本发明采用金刚石薄膜与BCN相结合的原理,解决了薄膜太阳能电池抗腐蚀性能差的原理,提高了薄膜太阳能电池的使用寿命,所以该方法下没有明显的薄膜损坏现象。不但提高了太阳能电池的光电转化效率,而且提高了太阳能电池的光致性能的稳定性。