一种硅料微波加热冷淬干燥自动化生产装置

基本信息

申请号 CN202120368441.2 申请日 -
公开(公告)号 CN214271111U 公开(公告)日 2021-09-24
申请公布号 CN214271111U 申请公布日 2021-09-24
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;F26B3/347(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 张纪尧;甄崇礼;廖洁娴;赵学燕 申请(专利权)人 山东澳联新材料有限公司
代理机构 淄博启智达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 王燕
地址 255086山东省淄博市张店区高新区鲁泰大道51号高分子材料创新园B座1519
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种硅料微波加热冷淬干燥自动化生产装置,包括隧道式的微波加热系统、冷介质骤冷系统、微波干燥系统和物料输送系统,所述物料输送系统依次贯穿微波加热系统、冷介质骤冷系统、微波干燥系统,还包括抑波闸门;所述微波加热系统包括加热缓冲腔和微波加热腔;所述加热缓冲腔分别设置在微波加热腔的前后两端;所述抑波闸门配合设置在加热缓冲腔前后两端。与现有技术相比,将装有硅料的托盘限制在两道抑波闸门与加热缓冲腔、干燥缓冲腔、微波加热腔、微波干燥腔和水爆腔构成的空间内,通过设置物料升降机构和龙门式机械手,减少了外来杂质的污染,减少了对人体的辐射。