一种硅料微波加热冷淬干燥自动化生产装置
基本信息
申请号 | CN202120368441.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214271111U | 公开(公告)日 | 2021-09-24 |
申请公布号 | CN214271111U | 申请公布日 | 2021-09-24 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I;F26B3/347(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 张纪尧;甄崇礼;廖洁娴;赵学燕 | 申请(专利权)人 | 山东澳联新材料有限公司 |
代理机构 | 淄博启智达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 王燕 |
地址 | 255086山东省淄博市张店区高新区鲁泰大道51号高分子材料创新园B座1519 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种硅料微波加热冷淬干燥自动化生产装置,包括隧道式的微波加热系统、冷介质骤冷系统、微波干燥系统和物料输送系统,所述物料输送系统依次贯穿微波加热系统、冷介质骤冷系统、微波干燥系统,还包括抑波闸门;所述微波加热系统包括加热缓冲腔和微波加热腔;所述加热缓冲腔分别设置在微波加热腔的前后两端;所述抑波闸门配合设置在加热缓冲腔前后两端。与现有技术相比,将装有硅料的托盘限制在两道抑波闸门与加热缓冲腔、干燥缓冲腔、微波加热腔、微波干燥腔和水爆腔构成的空间内,通过设置物料升降机构和龙门式机械手,减少了外来杂质的污染,减少了对人体的辐射。 |
